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Integrated circuit

An integrated circuit or IC is set of electronic circuits on one small plate (chip) of semiconductor that incorporates large numbers of tiny transistors to perform the functions of vacuum tubes.

Integrated circuit的贡献者

Integrated circuit

光栅扫描电子束曝光机

半导体; Integrated circuit

在工作台以光栅扫描轨迹运动构成的两维扫描场中,通过静电通断电路按输入图形数据控制电子束通断,使圆片定域曝光的电子束曝光设备。

圆形高斯电子束

半导体; Integrated circuit

束斑电流密度呈高斯分布的圆形截面电子束。

成形电子束

半导体; Integrated circuit

束斑电流密度分布均匀的矩形截面电子束。

磁偏转器

半导体; Integrated circuit

利用两对绕电子束正交排列的电磁线圈产生的磁场控制电子束行进方向偏转的装置。

机械扫描

半导体; Integrated circuit

为实现电子束对圆片在作图区域扫描曝光的有机配合,利用承片台的移动所实现的束斑对圆片的一维扫描运动。

混合扫描曝光

半导体; Integrated circuit

采用静电或电磁偏转与机械扫描相结合的扫描曝光方式。

图形拼接精度

半导体; Integrated circuit

电子束曝光中,通过工件台的运动,在相邻扫描区曝光一个图形时,该图形在相邻区相互衔接的规整程度。

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