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Integrated circuit

An integrated circuit or IC is set of electronic circuits on one small plate (chip) of semiconductor that incorporates large numbers of tiny transistors to perform the functions of vacuum tubes.

Integrated circuit的贡献者

Integrated circuit

束斑尺寸

半导体; Integrated circuit

聚焦电子束束斑的直径或矩形尺寸。

矢量扫描电子束曝光机

半导体; Integrated circuit

电子束曝光中,在偏转场范围内将图形细分成单元图形,由电子束连续填充曝光,当一个区域曝光结束后,再沿某一矢量偏转到另一区域进行扫描曝光的电子束设备。 ...

变形电子束曝光机

半导体; Integrated circuit

利用电子光学系统中的中间偏转电极将第一光阑的象移动投影位置后投射在.第二光阑上,两个光阑的重合部分的变化即形成改变了形状和尺寸的矩形束斑,以此实现不同图形快速曝光的电子束曝光设备。 ...

定形电子束曝光机

半导体; Integrated circuit

偏转电极将第一光阑的象移动一定位置后保持不变地投影在第二光阑处,形成一个固定形状和大小的束斑的电子束曝光设备。

静电偏转器

半导体; Integrated circuit

用一个与电子束轴向正交的静电场使电子束行进方向产生偏转的装置。

选择字符电子束曝光机

半导体; Integrated circuit

用设有系列图形形状的字符板代替电子光学镜筒中的第二光阑,通过程序选择其中一个字符的部分或整体曝光拼接图形的电子束曝光设备。

邻近效应

半导体; Integrated circuit

由电子在抗蚀剂中的前向散射和抗蚀剂与圆片界面上的背向散射而产生的图形线宽增大及曝光能量损失的现象。

精选词汇表

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