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Integrated circuit

An integrated circuit or IC is set of electronic circuits on one small plate (chip) of semiconductor that incorporates large numbers of tiny transistors to perform the functions of vacuum tubes.

Integrated circuit的贡献者

Integrated circuit

电子束漂移

半导体; Integrated circuit

聚焦束斑随时间的变化而产生的位置变化。

电子投影曝光机

半导体; Integrated circuit

将紫外光照射涂有光电发射材料的石英衬底金属掩模所产生的光电子,经电场加速和磁场聚焦,垂直投射到圆片胶层上,使之产生等倍掩模图形潜象的面曝光设备。 ...

离子束曝光机

半导体; Integrated circuit

在计算机控制下,用聚焦离子束直接在圆片上按输入图形数据进行描画,使抗蚀剂层曝光,以形成微电路图形潜象的曝光设备。

掩蔽离子束曝光机

半导体; Integrated circuit

以准直离子束穿过与圆片接近的金属箔掩模,对圆片光致抗蚀剂层进行面曝光的设备。

离子束投影曝光机

半导体; Integrated circuit

利用整形后的聚焦离子束,将中间掩模图形缩小投影在步进重复运动的回片上.使抗蚀剂层产生掩模图形潜象的离子束曝光设备。

聚焦离子束扫描曝光机

半导体; Integrated circuit

在计算机控制下,通过工作台运动和静电偏转,使聚焦离子束在偏转场内按输入图形数据对圆片抗蚀剂层进行分区扫描曝光的离子束曝光设备。

X射线曝光设备

半导体; Integrated circuit

用波长0.4-5nm的光辐射,以面曝光的方式将掩模图形等倍转印在圆片抗蚀剂层上的曝光设备。

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