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Integrated circuit

An integrated circuit or IC is set of electronic circuits on one small plate (chip) of semiconductor that incorporates large numbers of tiny transistors to perform the functions of vacuum tubes.

Integrated circuit的贡献者

Integrated circuit

六边形反应离子蚀刻机

半导体; Integrated circuit

将高频能量加到作为反应器内壁的直筒六面体阴极上,使置于其上的基片既受等离子体中活性基的腐蚀,又受到阴极暗区压降加速的正离子溅射腐蚀的蚀刻设备。 ...

离子束蚀刻机

半导体; Integrated circuit

又称离子铣或离子束溅射蚀刻机。利用足够能量的荷能离子束对基片表面的溅射作用.去除非掩蔽区的基片材料.以获得微细图形的蚀刻设备。

考夫曼离子源

半导体; Integrated circuit

对辉光放电产生的等离子体。经由一个或多个多孔电极组成的离子光学系统,引出低能量、大束径、均匀束流离子束的离子源。

空心阴极考夫曼离子源

半导体; Integrated circuit

利用气体放电装置引出的电子束代替热阴极发射电子源的考夫曼离子源。

中和器

半导体; Integrated circuit

产生中和离子束中正电荷的电子发射源。

反应离子束蚀刻机

半导体; Integrated circuit

又称反应离子束铁。以化学反应性气体的荷能离子束轰击基片表面,使基片材料在受到溅射腐蚀的同时,又受到化学反应腐蚀的蚀刻设备。

化学辅助离子束蚀刻机

半导体; Integrated circuit

将能与基片材料起化学反应的气体直接送到离子束蚀刻机中的被蚀刻基片附近,使基片材料在受到溅射腐蚀的同时又受到化学反应气体腐蚀的蚀刻设备。 ...

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