An integrated circuit or IC is set of electronic circuits on one small plate (chip) of semiconductor that incorporates large numbers of tiny transistors to perform the functions of vacuum tubes.
行业: 半导体
使给定厚度的光致杭蚀剂曝光,并在显影后可精确复制光掩模图形尺寸而必需的光化学辐照能量的总累积量。
一次曝光中,有效曝光面积内光致抗蚀剂材料层各点所接受的曝光量的不一致程度。
多次曝光中,各个有效曝光面积内光致抗蚀剂材料层上同一对应点所接受的曝光量的不一致程度。
使掩模与圆片精确对准并在其间保持一定间隙,以拷贝复印方式将掩模图形等倍地转印在圆片上的光学曝光设备。
通过圆片与掩模版平面位置的相对移动.使掩模对准标记与圆片的相应对准标记相互准确套合。
为了对准或测试,有选择地安插在掩模图形阵列内部或外部的特定图形。
为便于计算机判断和人工捕捉标记,在精确对准前,使回片与掩模版上的标记线按一定位置精度要求放里的过程。
0
词条
22
词汇
25
关注者
41
4