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Integrated circuit

An integrated circuit or IC is set of electronic circuits on one small plate (chip) of semiconductor that incorporates large numbers of tiny transistors to perform the functions of vacuum tubes.

Integrated circuit的贡献者

Integrated circuit

工作台位置分辨率

半导体; Integrated circuit

在X方向或Y方向的实际运动中。工作台可重复实现的最小位移量。

工作台定位精度

半导体; Integrated circuit

工作台在一个运动方向的全行程内的任一点作重复定位时,其实际定位位置与理想定位位置的符合程度,并以其实际定位位置的平均值与理想定位位置之偏差来平定。 ...

工位台重复精度

半导体; Integrated circuit

工位台在全行程内的任一点作重复定位时,其实际定位位置与多次定位的平均位置的符合程度,并以其实际定位位置统计分布的两倍或三倍标准偏差极限来评定。 ...

先栅测长系统

半导体; Integrated circuit

以计量光栅的栅距作长度基准,通过观察两光栅干涉产生的莫尔条纹的变化测量工作台实际位移,并将测得位移量转换为所要求信号的装置。

激光测长系统

半导体; Integrated circuit

以稳频激光器的辐射波长作长度基准,通过激光千涉仪精确测量工作台的实际位移,并将测得位移量转换为所要求信号的装置。

固定图形台

半导体; Integrated circuit

将具有单个或多个特定形状的图形模块放置在物面的机构。

可变孔径

半导体; Integrated circuit

又称可变狭缝。由两组可开合的机械刀口或其它机件组成,在物面上产生不同矩形基础图形的机构。

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