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Integrated circuit

An integrated circuit or IC is set of electronic circuits on one small plate (chip) of semiconductor that incorporates large numbers of tiny transistors to perform the functions of vacuum tubes.

Integrated circuit的贡献者

Integrated circuit

套准精度

半导体; Integrated circuit

一种集成电路的一套掩模彼此正确迭合时,其中一层掩模上的全部功能图形与其相应图形的理想位置的相对位置偏差。

同机套版精度

半导体; Integrated circuit

由一台制版设备所制作的一种集成电路的一套掩模或中间掩模相互正确迭合时,其各图层相应图形的相对位置偏差。

异机套版精度

半导体; Integrated circuit

由不同制版设备所制作的一种集成电路的一套掩模或中间掩模相互正确迭合时,其各图层相应图形的相对位置偏差。

准分子激光图形发生器

半导体; Integrated circuit

以准分子激光器做闪光光源的机械狭缝式或激光狭缝式光学图形发生器。

准分子激光器

半导体; Integrated circuit

以高速高压放电激励含有卤素的适当混合气体,使其形成受激二聚物,从而产生远紫外波段高能、窄谱、超短脉冲光辐射的气体脉冲激光器。

停进曝光

半导体; Integrated circuit

每到达一个预定曝光位置,即控制工作台停止运动,并待光束对其承载的感光板完成图形定位曝光后,再驱动工作台移向下一曝光位置,以实现顺序作图。 ...

行进曝光

半导体; Integrated circuit

在工作台不停顿地运动的过程中,每当通过一个预定曝光位置的瞬间,即触发高能、超短光脉冲对其载动的感光板进行同步逐位曝光,以实现顺序作图。 ...

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