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微机电系统 (MEMS)
计算机; 计算机硬件
用来制作系统上-芯片 (SoC) 的半导体芯片中嵌入机械设备如流体传感器、 镜像、 执行器、 压力和温度传感器、 振动传感器和阀门的微细制造技术。微机电系统结合许多学科,包括物理、 生物信息学、 生物化学、 电气工程、 光学和电子产品。 ...