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Integrated circuit

An integrated circuit or IC is set of electronic circuits on one small plate (chip) of semiconductor that incorporates large numbers of tiny transistors to perform the functions of vacuum tubes.

Integrated circuit的贡献者

Integrated circuit

旋转涂胶台

半导体; Integrated circuit

真空吸附圆片并带动其高速旋转的载物台面。

光致抗蚀剂

半导体; Integrated circuit

又称光刻胶。以适当厚度涂搜于基片上.经正常曝光和显影后可形成图形层,用来有选择地掩蔽或保护基片表面,使被保护区基片在相应工艺流程中免于发生变化的高分子辐射敏感材料。 ...

正性光致抗蚀剂

半导体; Integrated circuit

又称正胶。涂覆于基片上,经选择性辐照曝光后,其被曝光区域可由显影剂消溶的光致抗蚀剂。

负性光致抗蚀剂

半导体; Integrated circuit

又称负胶.涂搜于基片上,经选择性辐照曝光后,其被曝光区域可抵抗显影剂的消溶作用的光致抗蚀剂。

烘干炉

半导体; Integrated circuit

通过红外线或其它加热方法,对擦片、涂胶、显影后的圆片进行烘干或坚膜处理的加热炉。

显影机

半导体; Integrated circuit

用显影剂对回片上曝光形成的光致抗蚀剂图形潜象进行化学处理,除去可溶解材料,使曝光图形实体化的设备。

显影

半导体; Integrated circuit

对经选择性曝光的光致抗蚀剂涂彼层进行化学处理,以局部地脱除光致杭蚀剂,使潜象现出可见图象。

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