极端紫外线光刻技术

极端紫外线光刻技术

光刻机是一个摄影的过程，用来传输描述到硅片集成电路的几何图案。后刻的一步、化工、蚀刻、杂质沉积或氧化过程步骤都硅片来进一步界定的电路结构上执行。硅表面上，从而生产集成电路在所有类型的电子通信、显示与信号处理设备中使用这些序贯光刻和处理步骤正是形成三维电气线路。

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行业/领域：科学
类别普通科学
Company: McGraw-Hill
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