An integrated circuit or IC is set of electronic circuits on one small plate (chip) of semiconductor that incorporates large numbers of tiny transistors to perform the functions of vacuum tubes.
行业: 半导体
由X射线源的非点光源辐射而产生的曝光模糊区的宽度。
又称菲涅耳盘。由相间的透射和不透射材料圆环组成的X射线衍射聚焦板。
利用化学或物理腐蚀媒质对显影后的抗蚀剂图层下裸露的基片膜层进行蚀刻,除去不需要的材料膜,形成所需图形的设备。
以液体化学溶剂作腐蚀煤质的蚀刻设备。
经曝光显影形成在基片上,用以选择性地阻挡辐射线或化学、物理腐蚀媒质穿透的抗蚀剂屏蔽图层。
湿法蚀刻中,因材料的各向同性而引起的掩膜图层下材料的侧向腐蚀。
单位时间内材料被腐蚀的厚度。
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